Gasblandningar för excimerlasrar består ofta av 0,05-0,3 % halogener (fluorid eller väteklorid), 1-10 % ädelgaser (krypton, xenon eller argon) och 90- % buffertgaser (helium eller neon). Av säkerhetsskäl måste halogener alltid spädas med helium eller neon.
En modern koldioxidlaser kräver högrena resonatorgaser. Föroreningar i gaserna påverkas laserns stabilitet och effekt, den elektriska urladdningen störs och slitaget ökar på laserns optik. Lasern är speciellt känslig för förekomst av vattenånga och kolväten i resonatorn. Som regel kommer föroreningar i resonatorgaserna inte från gasflaskorna. I de flesta fall introduceras de via läckande gasförsörjningssystem. För en pålitlig och fullgod funktion hos lasern krävs därför att komponentvalet och installationen utförs av specialister.
Lasergaser för koldioxidlasrar levereras i separata gasflaskor och blandas i lasern via en mixer, eller levereras som färdigmixade gasblandningar. Alla gaser och tjänster för laserbearbetning ingår i programmet LASERLINE® globala gaslösningar Färdigblandade resonatorgaser för olika lasertyper ingår i programmet LASERMIX® förblandade lasergaser.
En gaslaser behöver tillförsel av resonatorgaser för att kunna generera laserljus. I en koldioxidlaser består gasblandningen ofta av 60-85 % helium, 13-55 % kväve och 1-9 % koldioxid. Koldioxiden genererar själva laserljuset, medan nitrogen och helium används för att öka verkningsgrad och stabilitet i laserprocessen. Den exakta sammansättningen varierar beroende på lasertyp och tillverkare. Vissa lasertyper kräver också små tillsatser av andra gaser som oxygen, hydrogen, xenon och kolmonoxid. Giftiga gaskomponenter i gasblandningen kräver extra säkerhetsåtgärder vid utformande av gasförsörjningssystemet.